企業概要

事業概要
 
社名
株式会社モリエンジニアリング
代表者
畑中俊彦
本社・工場
埼玉県入間郡三芳町北永井 585−9
TEL. 049-259-7880
FAX. 049-259-7881
資本金
1000万円
設立
昭和51年3月
法人設立
昭和55年6月
取引銀行
①飯能信用金庫三芳支店  ②埼玉りそな銀行鶴瀬支店          ③武蔵野銀行ふじみ野支店
業務内容
プラズマ応用装置の設計、製造
主たる製造
プラズマアッシャー、プラズマクリーナー 高周波プラズマ電源、自動インピーダンス整合器
工場敷地
1,980㎡

沿革

1976年(昭和51)
モリエンジニアリングを創業創立
1978年(昭和53)
IC製造用高周波プラズマ電源及び自動インピーダンス 整合器の開発、製造、OEM納入
1980年(昭和55)
バッチ式プラズマアッシャーの製造開始 法人設立登記 代表取締役 斉藤 幸
1983年(昭和58)
高周波プラズマ電源ソリッドステート化 低ダメージプラズマ電源の特許出願
1988年(昭和63)
スパッタ用100MHzソリッドステート電源及び 自動インピーダンス整合器の開発、納入
1991年(平成3)
新社屋工場竣工 土地1,980㎡、建物825㎡
1993年(平成5)
販売実績累計台数 ※アッシング装置(約400台)RF電源、自動インピーダンス整合器(各約3000台)
1994年(平成6)
アッシャー、エッチャー自動機製造及び 代理店販売開始
1995年(平成7)
RIEプラズマクリーナー製造開始
1997年(平成9)
RF-VIプローブ/プロセッサ製造開始
1998年(平成10)
スーパークリーナーV1000/V1500X販売開始
1999年(平成11)
基板両面処理量産用バッチ式プラズマクリーナ
2000年(平成12)
コンパクトプラズマクリーナーCV600販売開始
2001年(平成13)
V6000輸出開始
2002年(平成14)
低周波電源販売開始(10KHz〜100KHz、1500W)
2003年(平成15)
マガジン対応2電源方式プラズマクリーナー販売開始 リールtoリール自動クリーニング装置 RPLシリーズ販売開始
2004年(平成16)
2周波プラズマクリーナーDSV-3000E販売開始
2005年(平成17)
簡易型モールド金型プラズマクリーナー開発開始
2006年(平成18)
ISO9001/14001 認証取得 2分岐方式マイクロ波プラズマクリーナー SMV-1500 販売開始
2007年(平成19)
2分岐方式マイクロ波バッチ式12"アッシャー開発開始
2008年(平成20)
学連携製品開発スタート
2009年(平成21)
新モールド金型クリーナー開発
2010年(平成22)
新型汎用アッシャー販売開始
2011年(平成23)
高密度プラズマ装置の製品化