弊社実験機バレル型(石英チャンバー)、アルミチャンバー型にてサンプル実験を行っています。
〇おもな処理ガス:酸素、アルゴン、CF4 混合含む
〇ワークサイズ バレル型φ300チャンバー:ウエハ2~8インチ 他ウエハ以外
複数処理(縦置き)最大6インチ
1枚処理(横置き)最大8インチ
〇ワークサイズ アルミチャンバー:最大W500×D500
※ワークサイズ要相談
※サンプル実験受付中です。この機会に是非 プラズマ の効果をお試しください。
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