○φ300×Ｌ500石英チャンバー

○大型高純度石英硝子製バレルチャンバーは半導体ウエハのアッシャー処理のほかに、色々な材料の プラズマプロセスアプリケーションに適合する幅広い用途の量産機としてご利用いただけます。

○金属、セラミックス、プラスチックス等のクリーニング、デスミア（汚染物除去）、表面改質処理等で ますます活用が期待されています。