MPA-600

○φ250×Ｌ400石英チャンバー

○大型高純度石英硝子製バレルチャンバーは半導体ウエハのアッシャー処理のほかに、色々な材料のプラズマプロセスアプリケーションに適合する幅広い用途の量産機としてご利用いただけます。

○金属、セラミックス、プラスチックス等のクリーニング、デスミア（汚染物除去）、表面改質処理等でますます活用が期待されています。

実験

サンプル実験受付中

014-1

目的とプラズマ処理法

弊社実験機バレル型（石英チャンバー）、アルミチャンバー型にてサンプル実験を行っています。

〇おもな処理ガス：酸素、アルゴン、ＣＦ４　混合含む

〇ワークサイズ　バレル型φ300チャンバー：ウエハ2～８インチ　他ウエハ以外　　　　　　　

複数処理（縦置き）最大６インチ

１枚処理（横置き）最大８インチ

〇ワークサイズ　アルミチャンバー：最大W500×D500

※ワークサイズ要相談

※サンプル実験受付中です。この機会に是非プラズマの効果をお試しください。