目的とプラズマ処理法

 

弊社実験機バレル型（石英チャンバー）、アルミチャンバー型にてサンプル実験を行っています。

〇おもな処理ガス：酸素、アルゴン、ＣＦ４　混合含む

 

〇ワークサイズ　バレル型φ300チャンバー：ウエハ2～８インチ　他ウエハ以外　　　　　　　

複数処理（縦置き）最大６インチ

１枚処理（横置き）最大８インチ

 

〇ワークサイズ　アルミチャンバー：最大W500×D500

※ワークサイズ要相談

 

 

 

 

※サンプル実験受付中です。この機会に是非 プラズマ の効果をお試しください。