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新製品MX-300S

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○このクラスならではのSUSチャンバー搭載、8インチタッチパネル、エアーオペレーション駆動による本格のプラズマ装置。実験機、準生産機として最適
○ DP/RIE上下段分割型によりモード切替不要
○マスフローコントローラ、真空センサ、20レシピ条件設定などの操作性に配慮

2017年02月24日

MPA-1000

PA-1000

 

 

 

○φ300×L500石英チャンバー

大型高純度石英硝子製バレルチャンバーは半導体ウエハのアッシャー処理のほかに、色々な材料の プラズマプロセスアプリケーションに適合する幅広い用途の量産機としてご利用いただけます。

○金属、セラミックス、プラスチックス等のクリーニング、デスミア(汚染物除去)、表面改質処理等で ますます活用が期待されています。

 

 

2017年02月24日

MPA-600

PA-600

 

 

○φ250×L400石英チャンバー

○大型高純度石英硝子製バレルチャンバーは半導体ウエハのアッシャー処理のほかに、色々な材料の プラズマプロセスアプリケーションに適合する幅広い用途の量産機としてご利用いただけます。

○金属、セラミックス、プラスチックス等のクリーニング、デスミア(汚染物除去)、表面改質処理等で ますます活用が期待されています。

2017年02月24日

PCS-3000

PCS-4000-1

 

 

型への付着物をプラズマにて灰化して除去 (対象:ゴム)
プラズマ処理により金型へのダメージを低減、細部への処理も可能

ショットブラストに代わるプラズマクリーニング

2017年02月24日

RPL-4000

RPL-4000

〇13.56MHz真空プラズマによるリールtoリール装置
巻きだし、巻取り、処理室備え巻きずれ補正EPC搭載
2017年02月24日