実験一覧

サンプル実験受付中

014-1

目的とプラズマ処理法

 

社実験機バレル型(石英チャンバー)、アルミチャンバー型にてサンプル実験を行っています。

〇おもな処理ガス:酸素、アルゴン、CF4 混合含む

 

〇ワークサイズ バレル型φ300チャンバー:ウエハ2~8インチ 他ウエハ以外       

複数処理(縦置き)最大6インチ

1枚処理(横置き)最大8インチ

 

〇ワークサイズ アルミチャンバー:最大W500×D500

※ワークサイズ要相談

 

 

 

 

サンプル実験受付中です。この機会に是非 プラズマ の効果をお試しください。

2017年03月01日