弊社実験機バレル型(石英チャンバー)、アルミチャンバー型にてサンプル実験を行っています。
〇おもな処理ガス:酸素、アルゴン、CF4 混合含む
〇ワークサイズ バレル型φ300チャンバー:ウエハ2~8インチ 他ウエハ以外
複数処理(縦置き)最大6インチ
1枚処理(横置き)最大8インチ
〇ワークサイズ アルミチャンバー:最大W500×D500
※ワークサイズ要相談
※サンプル実験受付中です。この機会に是非 プラズマ の効果をお試しください。
○このクラスならではのSUSチャンバー搭載、エアーオペレーション駆動による本格のプラズマ装置。実験機、準生産機として最適 (当社e300からの後継機)
○DP/RIE上下段分割型によりモード切替不要
○マスフローコントローラ、真空センサ、20レシピ条件設定などの操作性に配慮
〇8インチタッチパネルで操作、表示も楽々
型式 | MX-300S |
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モード | DP/RIE(上下段分割型 ) |
チャンバーサイズ |
SUSチャンバー W310×D220×H140(mm) |
電極間距離 | 60mm |
電極ステージ | SUS製 240×160(mm) |
RF出力 | 300W 13.56MHz |
処理ガス | O2またはAr (いずれか選択) |
オプション | - |
外形寸法 | W532×D600×H545 |
真空ポンプ | 0.75kW相当 |
電源・設備容量 | 3相200V 2.9KVA |