〇金型への付着物をプラズマにて灰化して除去 。金型洗浄（対象：ゴム）
〇プラズマ処理により金型へのダメージを低減、細部への処理も可能
〇ポンプへのダメージ低減の為装置－ポンプ間にトラパックエレメントを搭載

　　　　　　　　　　　　　

型式	PCS-3000
モード	ＤＰ
チャンバーサイズ	材質：アルミニウム　W620×D500×H650（mm）
電極サイズ	W300×H400×t60
ＲＦ出力	1000～3000W　13.56MHz
ガス種	O2+ＣＦ４
装置構成	装置（発振器含）+トラパックエレメント+真空ポンプ + 排ガス処理装置別途
外形寸法	W900×D1000×H1695（mm)
真空ポンプ	3.7+2.2kW相当（10.5KVA）
電源・設備容量	３相200V 　　23.0kVA