弊社実験機バレル型（石英チャンバー）、アルミチャンバー型にてサンプル実験を行っています。
〇おもな処理ガス：酸素、アルゴン、ＣＦ４ 混合含む
〇ワークサイズ バレル型φ300チャンバー：ウエハ2～８インチ 他ウエハ以外
複数処理（縦置き）最大６インチ
１枚処理（横置き）最大８インチ
〇ワークサイズ アルミチャンバー：最大W500×D500
※ワークサイズ要相談
※サンプル実験受付中です。この機会に是非 プラズマ の効果をお試しください。
○MＰＡ－１０００／MＰＡ－６００は、モリエンジニアリング社の最も基本的なコア商品として永年ご愛顧をいただいております高信頼性バッチ型プラズマ装置です。
○大型高純度石英硝子製バレルチャンバーは半導体ウエハのアッシャー処理のほかに、色々な材料のプラズマプロセスアプリケーションに適合する幅広い用途の量産機としてご利用いただけます。
○金属、セラミックス、プラスチックス等のクリーニング、デスミア（汚染物除去）、表面改質処理等でますます活用が期待されています。
処理画面 データーロギング （オプション）
| 型式 | MPA-600 |
|---|---|
| モード | ＤＰ |
| チャンバーサイズ |
石英 φ250×Ｌ400（mm） |
| ＲＦ出力 | 100～600W 13.56MHz |
| 処理ガス種 | O2と他１種選択 |
| オプション | 石英 φ300×Ｌ500（mm） |
| 外形寸法 | W512×D801×H714（mm） |
| 真空ポンプ | 0.75kW相当 |
| 電源・設備容量 | ３相200V 3.4kVA |
