弊社実験機バレル型（石英チャンバー）、アルミチャンバー型にてサンプル実験を行っています。
〇おもな処理ガス：酸素、アルゴン、ＣＦ４ 混合含む
〇ワークサイズ バレル型φ300チャンバー：ウエハ2～８インチ 他ウエハ以外
複数処理（縦置き）最大６インチ
１枚処理（横置き）最大８インチ
〇ワークサイズ アルミチャンバー：最大W500×D500
※ワークサイズ要相談
※サンプル実験受付中です。この機会に是非 プラズマ の効果をお試しください。
周辺地図
株式会社モリエンジニアリング
- 本社・工場
- 〒354-0044埼玉県入間郡三芳町北永井 ５８５−９ TEL. 049-259-7880 FAX. 049-259-7881
アクセス
電車の場合
東武東上線鶴瀬駅下車、駅西口からタクシーにて約１０分
※目標とする建物：三芳町水道局となり
自動車の場合
関越自動車道 所沢ＩＣから約３km
※目標とする建物：三芳町水道局となり
