弊社実験機バレル型(石英チャンバー)、アルミチャンバー型にてサンプル実験を行っています。
〇おもな処理ガス:酸素、アルゴン、CF4 混合含む
〇ワークサイズ バレル型φ300チャンバー:ウエハ2~8インチ 他ウエハ以外
複数処理(縦置き)最大6インチ
1枚処理(横置き)最大8インチ
〇ワークサイズ アルミチャンバー:最大W500×D500
※ワークサイズ要相談
※サンプル実験受付中です。この機会に是非 プラズマ の効果をお試しください。
株式会社モリエンジニアリング
東武東上線鶴瀬駅下車、駅西口からタクシーにて約10分
※目標とする建物:三芳町水道局となり
関越自動車道 所沢ICから約3km
※目標とする建物:三芳町水道局となり