技術情報

 
 親水性効果(濡れ性)

技術情報1

 

 O2プラズマによる濡れ性効果

撥水性効果

技術情報1

 

 CF4プラズマによる撥水効果

RIE効果

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 アルゴンプラズマによるRIEモードエッチング効果

(銅板に右半面へマスキングをし処理後はがした状態)

 

チタン膜除去

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  •  O2+CF4混合プラズマによるチタン膜除去
  •  

DPモード


 有機物除去に有効

RIEモード

 

 有機物、無機物除去に有効

DFモード

 

 DPプラズマモードに比べ電気的ダメージが少ない