○φ300×Ｌ500石英チャンバー

○大型高純度石英硝子製バレルチャンバーは半導体ウエハのアッシャー処理のほかに、色々な材料の プラズマプロセスアプリケーションに適合する幅広い用途の量産機としてご利用いただけます。

○金属、セラミックス、プラスチックス等のクリーニング、デスミア（汚染物除去）、表面改質処理等で ますます活用が期待されています。

 

 

 

 

○φ250×Ｌ400石英チャンバー

○大型高純度石英硝子製バレルチャンバーは半導体ウエハのアッシャー処理のほかに、色々な材料の プラズマプロセスアプリケーションに適合する幅広い用途の量産機としてご利用いただけます。

○金属、セラミックス、プラスチックス等のクリーニング、デスミア（汚染物除去）、表面改質処理等で ますます活用が期待されています。

 

 

○このクラスならではのSUSチャンバー搭載、８インチタッチパネル、エアーオペレーション駆動による本格のプラズマ装置。実験機、準生産機として最適
○ ＤＰ／ＲＩＥ上下段分割型によりモード切替不要
○マスフローコントローラ、真空センサ、２０レシピ条件設定などの操作性に配慮