新製品MX-300S

○このクラスならではのSUSチャンバー搭載、８インチタッチパネル、エアーオペレーション駆動による本格のプラズマ装置。実験機、準生産機として最適
○ ＤＰ／ＲＩＥ上下段分割型によりモード切替不要
○マスフローコントローラ、真空センサ、２０レシピ条件設定などの操作性に配慮

実験

サンプル実験受付中

014-1

目的とプラズマ処理法

弊社実験機バレル型（石英チャンバー）、アルミチャンバー型にてサンプル実験を行っています。

〇おもな処理ガス：酸素、アルゴン、ＣＦ４　混合含む

〇ワークサイズ　バレル型φ300チャンバー：ウエハ2～８インチ　他ウエハ以外　　　　　　　

複数処理（縦置き）最大６インチ

１枚処理（横置き）最大８インチ

〇ワークサイズ　アルミチャンバー：最大W500×D500

※ワークサイズ要相談

※サンプル実験受付中です。この機会に是非プラズマの効果をお試しください。